技术编号:6060110
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型揭示了一种晶圆定点取样装置,包括装置架、底座、第一刀具架、第一刀具、第二刀具架、及第二刀具。在本实用新型提供的晶圆定点取样装置中,将所述晶圆放置于所述底座上,所述第一刀具架在所述第一方向上滑动,从而精确地确定取样点在所述第一方向的位置,所述第二刀具架在所述第二方向上滑动,从而精确地确定取样点在所述第二方向的位置,以对所述取样点定位,通过所述第一刀具和第二刀具切割所述晶圆,得到所述取样点的样品。专利说明晶圆定点取样装置 [0001]本实用新型...
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