技术编号:6068158
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种无接触式硅片厚度电阻率检测系统,属于硅片检测设备领域。背景技术晶硅太阳能电池技术在光伏发电领域是占据着绝对优势的主流技术,晶硅太阳能电池片主要由太阳能等级硅片组成。为保证晶硅太阳能电池片转换效率满足技术指标,在生产过程中,硅片的厚度、厚度偏差、体电阻率等各种参数都要经过测试,以满足太阳能工业或者客户的技术指标。目前,有两类设备可以测试这些参数,一类是传统的接触式测试设备,另外一类是无接触式测试设备。接触式测试方法需要两种测试设备分别对硅片...
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