技术编号：6068249
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型公开了一种等离子体多波长杂质光谱监测装置。由集光镜头，多波长分光器，采集系统，光谱仪构成。本实用新型利用体布拉格光栅的衍射特点，仅使用单束光纤即可同时满足多条杂质谱线的监测需求，剩余的光能量由光谱仪做进一步的宽谱段谱线分析。同时，光谱仪为体布拉格光栅的装配提供参考。由体布拉格光栅分离出来的单波长杂质线谱采用光电探测器实现快时间响应的谱线强度监测；由光谱仪实现慢时间响应的宽波段杂质谱线监测，可很好的满足等离子体杂质谱线研究的不同需求。专利说明一种等...
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