技术编号：6070633
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种氮氧化物传感器，由多层长方形基片构成，从上至下的第一层基片至第三层基片形成气体入口、第一腔室和第二腔室，第一腔室内设置有氧泵，第二腔室内设置有氧测量泵，第一腔室和第二腔室之间设置有扩散障碍部。氧泵的电极由设置在第一层基片上、下表面的第一电极和第二电极组成，氧测量泵的电极由设置在第三层基片上、下表面的第三电极和第四电极组成，第三层基片上设有与大气相连的参比气体通道。本实用新型的氮氧化物传感器，做到了六线制，结构得到优化，为后续的信号精度提高...
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