技术编号:6072336
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型提供一种压电式加速度传感器,包括依次设置的支撑层、振膜层及压电薄膜层,所述支撑层具有一窗口,所述窗口暴露出部分所述振膜层,以使部分所述振膜层悬空,在具有加速度信号时,悬空的振膜层产生形变,所述振膜层的形变带动所述压电薄膜层产生形变,所述压电薄膜层背向和朝向所述振膜层的表面分别设置有上电极及下电极,以将所述压电薄膜层形变产生的电信号传递给外部测量装置。本实用新型的优点在于,压电薄膜层为一连续的整体,使得压电薄膜层在全范围内响应振膜层的形变,扩大了压...
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