技术编号:6075919
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种基于乘法消除微机械陀螺同相误差系统,尤其是指一种基于乘法消除电容式微机械陀螺同相误差系统。背景技术陀螺是一种即使无外界参考信号也能探测出运动物体自身姿态和状态变化的传感器,其功能是敏感运动体的角速度。基于MEMS技术的第三代微机械陀螺仪,具有体积小、重量轻、带宽大、功耗低及抗冲击强度高等优点,被广泛应用于军事及民用领域。现有技术中,电容式微机械陀螺仪的敏感结构采用体硅或者表面硅工艺加工制作而成,由于尺寸极其微小,通常为微米量级,在现有的工...
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