技术编号:6076228
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型公开了一种成像系统探测器芯片精密装调设备,该装调设备包括运动控制系统、检测系统、附属结构和计算机,其中,运动控制系统由平移台、旋转台和倾斜台组成,负责调整待测器件和检测系统的空间位置,检测系统由自准直仪和远心数字显微成像系统组成,负责测量待测器件的角度和位置偏差,计算机能控制平移台的运动并记录其位置坐标,也能从远心数字显微成像系统获取待测器件的图像并进行分析计算;在装调过程中对角度和位置的测量精度分别达到秒级和微米量级,在装调完成后能保证探测器芯...
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