技术编号：6079211
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及精密测量设备，特别涉及一种测量力可控接触式测头。背景技术对于薄板材型器件(包括超精密零件、精密模具、光学模仁、平面薄壁件等)的形状公差、表面粗糙度的测量，需要使用带有测头的精密测量设备。根据测量原理的不同，测头可分为非接触式、接触式两类，其中非接触式测头可通过光学扫描以获取被测工件表面的形位误差，但其结构复杂、成本高，且受机器视觉识别技术发展程度限制，目前仍不具备纳米级的测量精度。接触式测头利用探针与被测工件的表面接触，能够获得更精确的形位误...
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