技术编号:6080449
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及,属于含有镀膜工艺的集成电路、半导体生 产或者光伏产品生产领域。背景技术现有的镀膜厚度测试的设备主要有椭偏仪、台阶仪和其他利用光学原理做成的设 备。椭偏仪等利用光学原理做成的仪器在测试镀膜厚度时,可以不损伤样品表面,但是光路 在表面多起伏的样品或者曲翘度较大的样品上会出现光路收集困难,测试精度就会下降; 台阶仪作为针尖在样品上扫描的方式,精确度很高。虽然对样品表面有一定损伤,但是通过 调节针尖与薄膜间的作用力,可以控制这种损伤。这种方法在精准测试...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。