技术编号:6082223
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种具有微分电容拾取的弯曲梁加速度计。背景技术 微机电系统(MEMS)加速度计一般地包括悬垂的校验块,悬挂系统(挠曲)以及用于确定在加速度的影响下(F=MA)该校验块的相对运动的方法。当保持导航目的所必须的性能时,持续的高震动环境对微机电系统(MEMS)加速度计产生显著的干扰。需要非常小的MEMS加速度计,以便经受高震动的环境。必须将用于MEMS加速度计的挠曲系统设计成将运动限制到唯一的传感轴。挠曲悬挂必须将来自环境压力和应变的影响最小化,同时具...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。