技术编号：6083172
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及耐蚀金属制热式质量流量传感器和采用该传感器的流体供给设备，主要用于检测半导体制造装置的气体供给线等中的质量流量，将传感器部的整个触气面用不锈钢(SUS316L)等具有耐蚀性的金属材料形成，对强腐蚀性的流体具有优异的耐蚀性，同时能够达成除颗粒(particle-free)及无泄漏(leak-free)。背景技术 一直以来，在化学分析装置等的中，作为流体的质量流量测定用的传感器，往往采用毛细管型热式质量流量传感器或微机械技术的硅制超小型热式质量流量传...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
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