技术编号：6083704
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及根据反流原理工作的泄漏监测器，该泄漏监测器包括一个第一高真空泵，该第一高真空泵的进口侧连接到泄漏监测器的入口；一个第二高真空泵，该第二高真空泵的进口侧连接到质谱仪；一个初级泵，该初级泵的进口侧连接到两个高真空泵的出口侧；以及将泄漏监测器的入口连接到初级泵并包括一个第一阀的旁路。在EP 0 283 543 A1中介绍了这类泄漏监测器。这类泄漏监测器用作一种真空密封装置中的监测泄漏。为此，将光测试气体引入到要被测试的装置中，该装置放置在真空密封室中，...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。