技术编号:6084357
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及使用扫描干涉测量来测量具有诸如薄膜(多个)、不相似材料的离散结构、或由干涉显微镜的光学分辨率而在分辨以下(underresolve)的离散结构的复杂表面结构的对象的表面构形(topography)和/或其它特性。这样的测量与平板显示组件的表征(characterization)、半导体晶片测量、以及就地(insitu)薄膜和不相似材料分析相关。背景技术 通常,使用干涉测量技术来测量对象的表面的轮廓(profile)。为此,干涉测量仪将从感兴趣表面...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。