技术编号:6084956
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及,属集成传感器领域。置于流体中的加热面的热损失随流体的流速增大而增加,测量加热面的热损失即可求出流速及与此有关的流体参数。集成热流量传感器具有对低流速灵敏度高、响应快和体积小、成本低与信号处理电路兼容性好和可靠性高等优点。现在通用的集成热流量传感器多数未采用热隔离结构(B.W.Van Dudheusden,J.M.De Bruijn,P.J.Hoogeboom,D.Beaufort and J.H.Huijsing,Sensors an...
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