技术编号:6085474
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种改进的容栅位移传感器。更确切的说,它涉及一种改进的利用栅状平行电极组成的电容组的电容量变化来测定平行电极间相对位移量的传感器。已有的容栅位移传感器已经在数显卡尺等长度测量设备中得到应用。附图说明图1表明了一个数显卡尺现用的容栅位移传感器的例子。传感器由两个平板电极组成,固定在卡尺尺身上的定尺1表面分布有严格相等的节距为P/2的电极a称为接收极,接收极间以同样节距的接地极b隔开;固定在卡尺尺框上的动尺2表面分布有多组间隔相等的电极c称为发射...
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