技术编号：6086743
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属固体材料中微量元素分析领域。二次离子质谱法-简称SIMS(Secondary Ion Mass Spectrometry)法，是一种高灵敏度、全元素、高深度分辨率的表面微量元素分析方法。但由于目前对溅射机制、二次离子发射机理等尚未有统一的物理模型，因此，该方法不能直接进行定量分析，而必须通过标样进行相对测量达到定量的目的。但标样法存在以下缺点标样法间接定量，因此使定量分析精度不高;由于溅射、二次离子发射的基体效应使得不同的基体-杂质组合需要完...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。