技术编号:6086744
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于线性尺寸测量,涉及一种对物体位移进行非接触、亚微米精度、毫米级量程的测量之光学仪器。现有的激光干涉测量位移的技术都是基于镜面反射或特定漫射面的散斑变化来工作的,对实际物体表面(特别是生产过程中的各种加工表面)不能普遍应用,目前尚未见到对一般表面的物体位移进行干涉计量的技术。中国专利申请89202126.8(公告号CN20458411U)公布了一种非接触式激光干涉比较仪,它采用临界角法非接触光触针定位、迈克尔逊干涉测长,该技术可以不破坏被测表面,测...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。