技术编号：6086780
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种提高气敏元件灵敏度，特别是指一种提高半导体电阻或气敏元件灵敏度的方法。适用于所有半导体气敏元件。半导体电阻或气敏元件由于其灵敏度较高，制作工艺不复杂，使用方便灵活等优点，因而成为目前气敏元件中发展最快，应用最广的一类。且品种越来越多，检测气体种类也在迅速增加，现已从可燃、易爆气体的检测发展到毒气、香气、臭气和新鲜度的检测。在半导体和集成电路生产用气体中，有的毒性很大，要求检测的浓度在1-10ppm，甚至要求ppb级。从预防中毒、保障人身安全的...
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