技术编号：6087563
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明一般涉及到微电机传感器(MEMS)，更确切地说是涉及到包含测试质量块(proof mass)的传感器。背景技术 各种传感器可用于惯性制导系统中，来读取诸如航天飞机、飞机、陆基车辆、或手持装置之类的装置的加速度或方位。它们还被用于车辆以读取冲击并运用各种装置来保护乘客(例如汽车中的气囊)。传感器可能被要求检测沿一个、二个、或三个轴即方向的加速度或其它现象。从这一信息，能够确定装置的运动或方位。在当前减小传感器尺寸和降低传感器成本所作的努力中，已经提出了...
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