包括纳米晶须的探针结构、其制造方法以及形成纳米晶须的方法技术资料下载

技术编号:6088484

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本发明涉及包括一维纳米元件的结构,其适合用于扫描探针显微镜、电流注入应用和其他应用。“一维纳米元件”是本质上处于一维形式的结构,它们的宽度或直径具有纳米尺寸,它们通常被称为纳米晶须、纳米棒、纳米线、纳米管等等。更具体地,但非排他地,本发明涉及包括纳米晶须的结构、相关制造方法和形成纳米晶须的方法。背景技术 通过所谓的VLS(气—液—固)机理在基底上形成晶须的基本工艺是众所周知的。在有某种气体参与的情况下,通常是金的催化材料的粒子或块体被在基底上加热。气体被催...
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