技术编号：6088793
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属固体表面分析，是一种获得固体表面元素分布二维图象的方法。表面科学的发展已在国防和国民经济方面产生巨大影响，而表面分析方法是研究表面科学的一种有效手段。对高空间分辨率的表面分析来说，目前仅有扫描俄歇微探针(SAM)能得到二维元素图，因此被称为俄歇图(Augermap)。但它必须使用复杂的电子能量分析器，因而造价很高，不能普遍使用。常用的扫描电子显微镜(SEM)则能够给出高分辨率的表面形貌图(topographicalmap)，但不能给出成份图。近年来...
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