技术编号：6088964
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于光学波面面形检测中的一种双波长干涉检测装置。双波长干涉检测技术对于光学零件(如非球面面形)的检测特别有价值。目前已形成三种双波长干涉检测技术1、双波长全息术(AppL.Opt，10，2113～2118，1971);2、双波长干涉术(Appl，Opt，12，2071～2074，1973);3、双波长相移干涉术(Appl，Opt，23，4539～4543，1984)。其中(1)的结构特点如附图说明图1所示它由激光光源(1)、分束器(2)、平面镜(3)...
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