技术编号:6089692
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型是一种湿度测量探头,属于通过测试电容量来测量或分析气体中微量水份的检测元件。在许多用干燥气体保护的工业生产过程中,监测这些气体中的微量水份(绝对湿度)是至关重要的。在这一领域中,氧化铝湿度传感器由于它能连续进行在线检测,灵敏度高,已得到广泛使用。氧化铝湿度传感器可以是Al-Al2O3-Au或Si-Al2O3-Au结构的(见中国专利CN86102535B,CN86204690)。作为湿度测量探头,这些氧化铝湿度传感器都被封装在多孔过滤罩里,这种过滤...
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