压力传感装置的制作方法技术资料下载

技术编号:6089983

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本发明涉及一种能充分提高超限压保护动作压力、并可实现小型化的简易结构的压力传感装置。(2)背景技术概略性地讲,隔膜型的压力传感装置装备有在由硅或玻璃等构成的薄板状隔膜(diaphragm)上形成有应变电阻计(日文歪み抵抗ゲ一ジ)的传感芯片。并且,从受到压力而变位的隔膜上所形成的所述应变电阻计的电阻值变化中检测出施加于所述隔膜的压力。例如,这种压力传感装置是将具有隔膜的传感芯片1装入例如图13所示的仪表本体2中而构成的。该仪表本体2在其本体部3上具有成为一对...
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