技术编号：6090538
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于真空测量，可广泛用于气象、航天部门的高空气压与太空模拟室气压的测量以及真空冶炼、薄膜制备、微细加工、电真空工艺等部门的真空度测量。电容薄膜压力传感器(又称电容薄膜规)有单边单电极，单边双电极和双边双电极等结构形式，它们的共同特点都是由弹性金属膜片和金属电极构成电容的两个电极，通过电容量的变化反映被测压强的大小。例如上海市通用机械技术研究所研制的电容式薄膜规就是较好的一种，它由弹性金属膜片A、金属固定电极B、外壳D和绝缘件E构成，如附图1所示，...
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