技术编号:6091215
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于鉴相式容栅位移传感技术。鉴相式容栅传感器的付栅栅条一直采用按八路驱动器输出相位秩序依次排列,为了提高传感器精度,栅条为多组并联输出,以取得平均效应,这样就带来了栅条连线交叉的问题,布线只能采用双面布线,用金属化小孔连接两面线路,由于金属化小孔不能做得很小(0.3mm以下金属化小孔在印制线路板制做上是极为困难的),所以栅条间距不能做得很小,而缩小栅条间矩正是提高鉴相式容栅位移传感器分辨率的有效方法,例如要使鉴相式容栅位移传感器的分辨率提高到0.00...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。