技术编号：6091395
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种双框架压电驱动微调样品台，属物理测试。已有技术中，1986年P.Muralt等提出一种单框架式压电驱动扫描装置，但其总位移量很小只有±7.8微米。这种装置的原理如图1所示。图1中a，b代表固定于底座的固定支架，T为样品台。而1及2为框架，为金属材料具有一定弹性。在框架内外两面沾有压电陶瓷材料制成的薄片。当这些压电陶瓷片上施加电压时陶瓷片发生弯曲变形，从而驱动弹性框架使样品台产生x，y两维运动，但因框架驱动后的弹性变形量有限，故样品台的位移...
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