技术编号：6092396
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及探测被测流体(例如空气)流速的流速探测器。传统上是把两个传感器与加热元件(发热体)组成的隔膜式流速探测器用作这种流速探测器。图13中示明了先有隔膜式流速探测器的概略剖面结构，图12则示明其中隔膜部的平面图。在图12与13中，1为硅片(基座)，1-1为在基座1的上面通过设置空间1-2而形成薄壁状的隔膜部，2(2-1)为隔膜部1-1上形成的金属膜的发热体(加热器)，3U(3UO)与3D(3DO)为加热器(发热体)2两侧形成的金属膜的热敏电阻体(温度传...
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