技术编号:6093141
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用双波长激光进行外差干涉测量绝对距离的系统,属精密测量。激光干涉仪由于其测量精度高、稳定性好、性能可靠被广泛用于生产实践,以美国HP公司为代表的双频激光测量系统是目前最常用的激光测量系统。但是这种激光测量系统在进行长度测量时,必须借助一条沿测量方向的导轨来完成,为此使得激光干涉仪在一些场合下应用受到了限制。为了解决上述问题,人们开始致力于绝对距离测量干涉仪的研究。绝对距离干涉仪的最大特点就是在测量两点间距离时无需用任何导轨。绝对距离测量干涉仪...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。