技术编号:6093162
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明是Blake等人在1993年1月15日向美国专利局申请的题为“圆片检测和夹持监示器”的专利申请08/005,030的部分继续(CIP)申请。本发明涉及一种用以将半导体圆片夹持在圆片支架上的静电式夹持器,更具体地说,涉及控制这种夹持器工作过程的一种方法和装置。标题为“应用交流电场激磁的静电式夹具”的美国专利5,103,367涉及一种半导体圆片固定机构,用以在圆片处理过程中固定与支架接触的圆片。这种静电式夹具有三个电极,其中两个电极形成基本上为平面的表面...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。