技术编号:6093511
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种,特别涉及到一种薄膜气体传感器及其制造方法,这种传感器在将其加热器加热至一个特定温度以便增强其传感膜对一种特定气体的检测性能时能尽可能降低用于将其加热器加热至高温的功率消耗,该方法是利用一种热损失低的材料和结构来形成一个热生成部件的支承膜。气体传感器是用于检测某种特定气体存在的传感器,根据传感器上的传感膜来检测气体,有用于检测CO(一氧化碳)的传感器,有用于检测冰箱中的鱼类变坏时产生的(CH3)3N(三甲胺)气体的传感器,有用于检测蔬菜变坏时...
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