技术编号：6094526
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及能够测量从外部施加的多轴的力、力矩、加速度、角速度的至少一个的应变计型传感器及利用该传感器的应变计型传感器单元。背景技术 作为应变计型传感器，已知有利用半导体的单结晶基板来检测力或力矩的装置。在特许文献1中，如图16及图17所示，记载有应变计型传感器500，其具有具备设在中央的大致圆柱形状的受力部511、设在周围的固定部512、将它们连结的圆弧形状的膜片部513的应变发生体510；安装在该应变发生体510上的由压电元件构成的应变计R511～R53...
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