技术编号:6095177
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种检测至少一个微元件的封闭腔的气密性的方法。该微元件包括制作在衬底上或衬底的一部分之上的结构和固定在一个衬底区域上用以保护该结构的罩子。该微元件的腔由罩子的内表面、结构和衬底区域界定。该腔例如可用接近于大气压力的惰性气体填充或者是真空腔。本发明还涉及具有用以实施该检测方法的封闭腔的微元件。制作在部分衬底之内或之上的所述结构可以是集成电路或三维结构或集成电路和三维结构的组合。这些微元件的“三维结构”是指微光机电装置(MOEMS)或微机电装置(ME...
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