技术编号：6095576
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明是一种用于快速检测薄膜厚度和折射率显微图像的方法及其设备，属于椭偏测量。椭圆偏振测量技术是利用偏振光束在界面或薄膜上反射或透射时出现的偏振态的变化，从而得知有关的物理化学性质。椭偏仪具有测量精度高的显著优点，它能同时分别测量多个物理量，并能区分不同的物理效应，是一种非破坏性测量。因而它在物理学、化学、材料学、生物学、光学、电子学、冶金学和生物医学等方面具有广泛的应用。普通的椭偏仪一般采用手动消光法进行测量，这种椭偏仪在实际测量过程中调整复杂和困难，测...
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