非接触测量透明材料制成的被测物厚度的设备的制作方法技术资料下载

技术编号:6095711

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本发明涉及一种非接触测量透明材料制成的被测物厚度的设备,在这个设备里,从第一、第二光源射出的两个相对的射线通过第一、第二分光器和一个偏转器(它由带有反射和折射界面的透明材料体组成)斜射于被测物表面上。在被测物正面和背面上反射的第一、二射束偶经偏转器和第一、第二分光器转向第一、第二探测器。众所周知,例如在EP 0 248 552A1号专利中,是把激光束斜射于玻璃板表面上来测量玻璃板的厚度的。激光束在玻璃表面部分反射,且在玻璃中部分折射。折射部分又在玻璃背面再...
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