应变式厚膜力传感器的制作方法技术资料下载

技术编号:6097312

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本实用新型涉及传感器技术。国内已有各种力传感器,虽然生产厂家较多,品种也较齐全,但绝大多数产品的基本结构均为电阻应变式,即在金属弹性体上粘贴金属箔式应变计或半导体应变片,利用应变计(片)的电阻变化将传感器载荷后引起的弹性体形变转换为电信号。这种结构的传感器存在以下不足1.应变片(计)用胶粘贴,蠕变大,输出漂移大;2.工作温度范围小,尤其粘贴半导体应变片的力传感器,由于半导体材料对温度敏感,温度系数大,目前工作温度一般为-10℃~+60℃,难以再提高;3.弹...
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