技术编号:6098032
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及金属氧化物半导体气体传感器和固体电解质气体传感器。本说明书中,气体除了包括CO、H2、异丁烷和丙烷、CH4、NOX、O2、O3、H2S等气体之外,还包括水蒸气申请人公开了在氧化铝等的基板上,叠层绝热玻璃膜和加热膜、绝缘膜、传感气体膜的气体传感器(特开平1-313751号)。绝缘膜作成膜厚10μm左右,是由玻璃或玻璃和二氧化硅或氧化铝等非玻璃质陶瓷粒子的混合物构成。另外,基板是二氧化硅等的热传导率低的陶瓷味,不需要设有绝热玻璃(特开平6-34732...
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