技术编号：6098353
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属气体传感器，具体涉及一种特高频气体检测系统的气体脱附方法及其调控单元。背景技术特高频气体检测系统(QCM)的检测原理是以晶振片上的气体敏感膜对被测气体的有效组分的分子进行选择性的吸附，并使其富集于敏感膜上(广义的称敏感膜为吸附剂，而被吸附的气体有效组分的分子称为吸附质)。此时晶振片由于质量符合效应使得QCM传感器的谐振频率降低，从而达到间接测量被测气体有效组分浓度的目的。按照吸附剂与吸附质之间存在的吸附力的性质的不同，可以分为物理吸附、化学吸附和交...
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