技术编号：6098457
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种悬浮转子微陀螺，特别是一种软磁吸悬高速旋转刚体微陀螺，用于微机电系统领域。背景技术 MEMS(微机电系统)技术与陀螺技术相结合促生了许多新颖微陀螺的产生，这种新颖微陀螺体积小，功耗小，成本低，具有自己独特优势。目前，使用MEMS技术制造的微陀螺主要集中在振动式微陀螺和悬浮转子式微陀螺上。振动式微陀螺检测质量系联在基体上，利用科氏加速度，通过驱动模态向检测模态的能量转换实现对外界输入角速度的测量。该种微陀螺因为模态和耦合误差问题、制造缺陷的影响...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。