技术编号:6099278
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及微流控芯片制造技术,特别提供了一种专门用于制作石英微流控芯片常温快速封接的芯片键合方法及加压模具。背景技术 微全分析系统(Micro Total Analysis Systems,μ-TAS)是一个跨学科的新领域,其最终目的是通过化学设备的微型化与集成化,最大限度地把分析实验室的功能转移到便携的分析设备中(如各类芯片),实现分析设备的“微型化”,因此微全分析系统也被通俗地称为“芯片实验室”(Lab-on-a-chip),根据芯片结构及工作机理又可...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。