近红外脉冲波前干涉仪的系统误差标定系统及其方法技术资料下载

技术编号:6099484

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本发明是一种对近红外高功率脉冲波前畸变检测干涉仪的系统误差进行高精度标定的。背景技术 在国防军工及国民经济领域中,常常需要对各种波前进行高精度的检测,其主要的测量指标就是波前孔径内的峰谷值(Peak-valley value,PV值)及均方根(Root-mean square,RMS)来表示。利用干涉仪可以检测各种精密表而的面形,也可以检测一些可见光波段的光束质量。要进行此类高精度的波前检测各类干涉仪本身必须具有很高的精度,现在常常利用计算机存储相减技术,...
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