技术编号：6099618
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于机械振动测量，涉及一种并联磁电式六维振动速度传感器背景技术振动传感器按被测的物理量可分为振动位移传感器、振动速度传感器和振动加速度传感器，其中一维线振动、角振动传感器的技术已较成熟，主要有涡流式位移传感器、磁电式速度传感器和压电式加速度传感器。进入九十年代以来，随着微电子技术的迅速发展，现代机械振动与冲击测量传感器正朝着更小、更轻、更价廉物美、更高可靠性和更坚固耐用的方向发展。而与此同时，传统的一、二维振动传感器的加工水平也在不断改进提高，这就使...
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