静电梳齿激励差分检测式微型电场传感器的制作方法技术资料下载

技术编号:6099632

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本发明涉及传感器,特别涉及静电梳齿激励、差分检测式微型电场传感器。背景技术 电场传感器广泛应用于航空航天、地学、环境检测和工业生产等多个领域,具有十分重要的作用。比如在航空航天领域,为保障飞行器的安全升空,航天部门十分重视飞行器发射前大气电场强度的实时探测与监测;在地学与环境检测领域,电场检测被广泛应用于大气环流研究、地质灾害预报、气象及沙尘的预报、石油及矿产勘探、大气污染检测等方面。电场传感器的种类很多,根据工作原理,大体上可以划分为电荷感应式和光学式两...
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