技术编号：6099858
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及反射型光电式编码器用刻度尺及反射型光电式编码器，特别涉及即使在适合用于在相位光栅(以下只称为光栅)的侧面不带反射膜的刻度尺的光栅形状和尺寸有偏差的情况也能稳定地得到高衍射效率，且能容许由加工产生的光栅形状和尺寸的偏差的反射型光电式编码器用刻度尺及使用其的反射型光电式编码器。背景技术 反射型光电式编码器用刻度尺如图1所示，成为在基板10的长度方向(图的左右方向)多个光栅12以一定的间隔(间距)p沿垂直纸面的方向多个并列配置的结构。成为使用这样的刻度...
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