深小孔表面形貌综合测量装置的制作方法技术资料下载

技术编号:6100342

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本发明属于计量测试技术,涉及对深小孔表面形貌测量装置的改进。背景技术 在计量测试领域,小尺寸尤其是深小孔内表面的测量,一直是精密测量中的技术难点之一。深小孔表面形貌测量的问题主要有三个,一是当孔径较小而孔深又较长时,受检测空间的限制而难于进行测量;二是要求传感器既具有高的分辨力,同时又具有比较大的动态范围;三是要求测量的参数比较复杂,可能同时包括宏观形状误差和微观表面粗糙度,从而进一步增加了测量的困难程度。常规的商品化圆度仪一般仅适合于普通零件圆度误差的测...
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