技术编号:6100786
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种应力测量方法,尤其是涉及一种纳米量级的空间高分辨的应力测量方法。背景技术 应力,是一个基础的物理参量,对应力的测量也是表征材料或者器件的一项极为重要的指标。目前,常用的对于固体材料和光电器件的微区应力的测量方法,主要有拉曼散射谱(μ-Raman scattering spectroscopy)、光荧光光谱(Photoluminescence spectroscopy,PL)及x射线摇摆曲线(x-ray rocking curve)等方法。其中...
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