技术编号：6100847
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及玻璃衬底和在玻璃衬底上具有作为压敏部的硅膜片的静电电容式压力传感器。背景技术 作为这样的压力传感器，有测定相对压的类型的差压式压力传感器和测定绝对压的类型的绝对压式压力传感器。图10是示出现有的静电电容式压力传感器的概略结构的剖面图。通过将具有接受被测压力的可动电极即压敏膜片2的硅衬底3和玻璃衬底4接合起来，构成了图10中示出的静电电容式压力传感器1。在硅衬底3的玻璃衬底4侧的表面上设置了电极5。在压敏膜片2与玻璃衬底4之间设置了规定的间隔，形成...
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