技术编号：6101757
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明是关于一种光学测量系统，特别是关于一种光学位移测量系统。背景技术近年来，随着电子与汽车零组件等产品的小型化，制造上述产品的模具尺寸精度要求越来越高，且加工技术也越来越精密，因此微小位移测量或振动测量技术的重要性日趋增加。现有技术一般利用激光三角法来测量物体的微小位移。请参阅图1，该光学测量系统10一般包括一激光器11与一光电敏感元件15，该激光器11用来向待测物体18表面发射激光111，该光电敏感元件15用来接收被待测物体18反射的激光112，其具有...
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