技术编号:6102069
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及的是一种微机电的器件,特别是一种磁场可控介磁稳定悬浮转子微陀螺。背景技术 微机械陀螺是MEMS(微机电系统)技术和陀螺技术相结合的产物,有振动式和悬浮转子式两大类。振动式微陀螺利用哥氏效应工作,尺寸在几个毫米以内,振动式微陀螺的检测质量与衬底通过机械结构相连,其本身的局限性及微加工中的一些困难,漂移精度处于中低精度水平。悬浮转子微陀螺利用电磁力或静电力使检测微转子与衬底分开,其漂移精度能够可达到惯性级水平。经对现有技术的文献检索发现,美国华盛顿大...
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