技术编号：6102108
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种三维集成的高量程微机械加速度传感器及其制作方法，属于硅微机械传感器。背景技术 随着微机械系统(MEMS)传感器技术的发展，各种MEMS传感器倍受人们的关注，其中微机械加速度传感器已被广泛应用于不同领域，如汽车气囊，机器人产业及自动化控制等方面。然而，在进行各种运动的监控过程中，一维加速度传感器已不能很好的满足监控要求，因而三维加速度传感器便成为MEMS加速度传感器发展的一个重要方向。近几年中，不断有单片集成三维加速度传感器研制的报道。普遍的三...
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